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半导体制造工艺基础

ISBN

978-7-5664-1902-6

作者

【美】施敏,【美】梅凯瑞 著;吴秀龙,彭春雨,陈军宁 译

出版时间

2020.09

定价

¥ 59

.00

概要: 本书由知名专家施敏、梅凯瑞编写而成,介绍半导体制造工艺中涉及的技术和基础理论,对制造工艺优化、产品功能完善具有重要的参考价值。